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根據(jù)國內(nèi)外氟化工行業(yè)多年實踐經(jīng)驗，只要焚燒反應(yīng)溫度控制在一定范圍，有機氟、氯烴就可以有效的熱裂解，分解率可達(dá) 99.9%以上。另外經(jīng)研究證明，只要熱解溫度達(dá)一定點以上，且保證氟或氯、氫平衡所需的 H 離子，則有機氟、氯烴的分解率可以達(dá)到 99.9%以上，而且焚燒尾氣中 CF4 含量遠(yuǎn)小于 0.5%，焚燒過程不產(chǎn)生八氟異丁烯等劇毒物質(zhì)。行業(yè)界已認(rèn)可高溫焚燒是處理含氟含氯廢液或廢氣的可行可靠的方法。后續(xù)通過冷卻、吸收和洗滌等工藝過程使尾氣排放符合環(huán)保要求，并可回收一定濃度的副產(chǎn)品，同時把焚燒過程中產(chǎn)生的熱量回收，產(chǎn)生飽和蒸汽以供工廠利用。
主要由 3 個單元組成：（1）含氟含氯廢液、廢氣的焚燒和余熱回收系統(tǒng)；（2）煙氣的凈化吸收系統(tǒng)；（3）副產(chǎn)品的回收系統(tǒng)。
